Химическое травление подложек

Химическое травление подложек

Из типичной электронограммы поверхности кристалла a-SiC6H после его механической обработки, представленной на рис., видно, что обработанная поверхность имеет мозаичную структуру с размерами блоков порядка 500 Д, и углами разориентировки 2—3°. Химическое травление подложек проводили с одной стороны с целью удаления нарушенного слоя, образующегося после механической обработки, а также для идентификации полярности кристаллов-подложек. Электронограмма поверхности кристалла a-Si6H после химического травления в расплаве КОН, приведенная на рис., свидетельствует об удалении поверхностного слоя, нарушенного механической обработкой, что должно проявляться в процессе эпитаксиального наращивания. I, б (см. вклейку), свидетельствует об удалении поверхностного слоя, нарушенного механической обработкой, что должно проявляться в процессе эпитаксиального наращивания.

Для выращивания эпитаксиальных пленок карбида кремния методом сублимации использовали вакуумную установку с индукционным нагревом, работающую от машинного генератора с частотой 8000 гц. В качестве рабочей ячейки использовали графитовый тигель, внутри которого размещали полочки с подложками. Источником напыления служила шихта, расположенная под полочками и представлявшая собой поликристаллический (5-SiC), полученный разложением метилтрихлорсилана в водороде.

Эффектная мраморная лестница в доме создает респектабельный внешний вид и подчеркивает благородство интерьеров. Вы можете купить мрамор в компании 8stones.com.ua по выгодным ценам. Здесь предлагают большой выбор такого натурального камня.

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Загрузка ... Загрузка ...

Оставить комментарий

Почта (не публикуется) Обязательные поля помечены *

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: